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合金靶材
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蒸發(fā)材料
+
金屬蒸發(fā)材料
化合物蒸發(fā)材料
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+
鉭靶材
鉭旋轉(zhuǎn)靶采用真空熔煉工藝制得，尺寸及純度根據(jù)客戶要求定制。
鉭平面靶采用真空熔煉工藝制得，尺寸及純度根據(jù)客戶要求定制。
純度：99.95-99.99%
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體鍍膜行業(yè)和光學(xué)鍍膜工業(yè)。
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